セントラル硝子、宇部工場の六フッ化タングステン製造設備を増設

セントラル硝子(宇部市、TYO:4404)は、同社宇部工場(同市)の六フッ化タングステン(WF6)製造設備を増設する。現在、同工場は年産250トンの製造能力を有するが、新たに150トンの設備を建設し、全体で年産400トンの体制を整える。投資額は非公表。

プロセスの微細化が進む半導体業界では、六フッ化タングステンの使用量が大幅に増加することが見込まれ、需給が逼迫している。このため同社では、今後も安定した見込めると判断した。新設備は、平成29年1月の稼働開始を予定している。


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